[天気:晴時々曇](広島県福山市) <睡眠:130-755><労働900-1925>
予定
むにー。
ないむねー。
今日の出勤は曇り気味で暑さも緩和した感じ。
測定とSEM。
朝開始した測定が、
SEM試料を切り出した後見に行ったところ2枚目のローディングで停止していたので、
2枚目から再度やりなおそうと一旦アンロード。
ステージ上げの操作をして目を離したところで、
近くでパリンチャリーンと派手な音がした。
あーどっかでウェハー割れたなーと思いつつローダーを見ると……
ウェハー割ったのこいつじゃん（汗;
そういえばアンロード時にウェハーがカセットに戻りきっていないことがあるので、
ステージを上げる前に確認しると言われてたのを怠っていた。ぐふぅ。
まぁin processではないので破片を取り除いた後は
ウェハー表面を窒素ガスでブローしてまた測定したり。
テープ印刷機で「確認しる！」という警告と
「ウェハー2枚破損 2003.9.9」のキルマーク(?)を作成し測定機に貼っておく。
SEMは見たい断面が出てなくて夕方に再度見る。
が、よく考えてみたら金属配線の走っている方向にわずかな角度をつけて割ったからといって、、
金属配線の縦断面がそう簡単に出るわけがない
*1
。
でもとりあえず断面に近そうなところを撮影し、1時間半の残業で撤退。
夕食をスーパーで買ってきたもので済ませた後、Web&IRC。
あとテレビで
プロジェクトX
＠カップラーメンとか、
趣味悠々パソコンでお絵かき＠ペイントを見放して
メーカーはAdobeだけど商品名は出せない謎のお絵かきソフトに乗り換え
とか、
斉藤環の不登校話
とか流し観する。
朝食: クリームチーズ付トースト、めいらく苦味ばしったアイスコーヒー
昼食: 鰈の輪切り焼き、ブロッコリーの謎スパイス味付け、かぼちゃ煮＠社食
夕食: 音戸のかきめし、茄子煮、厚あげ大根煮
以上、1 日分です。
うらゝのどす黒いエゴイスム日記＠ぷに★さくら版
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2003年09月09日(
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