[天気:晴](広島県福山市) <睡眠:020-735><労働900-1925>
んにゅー。
ないむね←
最上層が導通不良となっていたチップの表面SEM解析。
ウェハー断面はこれまで何度となく見てきたが、
同じSEMで表面を観察するのは初めてだ。
見たい箇所を探すのに、
断面なら1次元スキャンだが表面だと2次元スキャンとなるので、
光顕で当たりをつけていてもなかなか見つからない。
まさか光顕では見えるがSEMでは見えない
（例: 光を透過する膜の下にある）というやつか？
あとはCADデータの調査とか。
とりあえずマークの名前付けのパターンがわかったので完済の目処がついたような。
今日も暗くなるまで残業してちと疲れり。
といっても世の中からみると全然大したことがないわけだが。
まぁIRCとかWeb巡りとか。
朝食: イチゴジャム付トースト、ホット低脂肪乳
昼食: 白身魚の天ぷら、キムチ＠社食
夕食: 角煮ラーメン大盛、茹で餃子＠ふー太
以上、1 日分です。
うらゝのどす黒いエゴイスム日記＠ぷに★さくら版
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2003年05月09日(
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